甘肃省科技重大专项计划项目“溅射靶材用系列高纯金属的开发及产业化”通过验收

2014年12月14日，甘肃省科技厅组织有关专家组成验收专家组，在兰州金川科技园对兰州金川科技园有限公司承担的甘肃省科技重大专项计划项目“溅射靶材用系列高纯金属的开发及产业化”（1102GKDA040）进行了验收，与会专家听取了项目组的汇报，审阅了相关资料，经质询、讨论后认为，项目承担单位完成了任务书规定的任务指标，同意通过项目验收。

该项目是2011年由兰州金川科技园有限公司申请，经省科技厅批准的省科技重大专项计划项目，财政支持资金120万元，企业自筹资金2082万元。半导体工业的发展是一个国家高科技产业发展的核心，由于受到国外技术封锁，我国在半导体制造产业上，关键材料及其制备技术还主要依赖进口。中国是全世界半导体产业增长速度最快的国家，也是市场需求最大的国家，因此，应国家半导体产业发展需要，为推动国内用于半导体制造的高纯金属材料及其关键制备技术的本土化进程，兰州金川科技园有限公司长期致力于高纯金属产品及其新工艺的开发。通过本项目的实施，在高纯金属产业链延伸的过程中，利用湿法冶金和真空熔铸联合工艺制备出了6N高纯铜，应用离子掩蔽技术实现了5N高纯镍、高纯钴的湿法提纯，真空电子束炉熔铸技术实现了高纯镍、高纯钴锭的生产，建立了高纯铜锭、高纯镍锭、高纯钴锭中试生产线5条，产品获得了国内外客户认可并实现量产销售。申请专利9件，制定了相关企业标准。